漢辰科技獲經濟部工業局計畫支持，與國內合作夥伴及供應鏈，持續精進5奈米、3奈米以下半導體先進製程設備，提高台灣於半導體設備產業之能見度與競爭力。
漢辰於2020年與2021年分別取得經濟部工業局多年期計畫補助，成為全球半導體離子佈植機主要供應商，提升台灣半導體自製設備於國際的能見度。
漢辰研發半導體先進製程，用低能量高電流離子植入設備，成功開發半導體5奈米以下先進製程設備。漢辰的離子植入機，以感測器量測電流角度，運用智慧化軟體進行自適化角度精度補償，並具備優異的製程均勻度、潔淨度與生產量，順利通過臺灣半導體大廠驗證。
漢辰董事長陳溪新表示，漢辰是臺灣唯一能製造、生產半導體前段設備的廠商。我們在五奈米、三奈米及兩奈米的技術節點上，跟國內的主要廠商合作，開發最前段的製程技術。
感謝經濟部工業局，漢辰會善用本補助案，對本土供應鏈的培養，以增強國內半導體設備業自製化、以及在地化的能量。
