尖端製程的極致挑戰
極低能量高電流離子佈植設備

在高電流離子植入的專業領域裡,極低能量植入( ULE, Ultra Low Energy ) 代表對製程控制的極致挑戰。AIBT結合本土研發及供應鏈能量,與全球領導客戶合作,突破最尖端邏輯製程的技術挑戰。

作為半導體前段製程的關鍵設備之一,AIBT 20餘年來持續精進離子佈植設備的相關技術,
成為台灣唯一能研發半導體核心製程設備的廠商,與國際設備大廠並駕齊驅。

致力於前段先進半導體核心製程設備的研發與製造,與頂尖半導體製造公司合作。
成為全球半導體離子佈植機主要供應商,提升台灣半導體自製設備於國際的能見度。
漢民科技(漢辰科技母公司)40多年來,相繼投入離子束、電子束,到中子束的設備研發。
董事長陳溪新出席「2021台灣產業科技智慧轉型論壇暨第18屆台灣金根獎頒獎典禮」。
AIBT 離子植入系統
AIBT離子植入系統,實現極淺層的離子植入深度、更精準的植入劑量分布、以及極嚴格的植入角度限制,以符合成熟與3奈米以下最尖端製程的嚴峻需求,並提供更具彈性、更高效的服務。
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