產品介紹

iBlazar

為先進製程再進化

iBlazar採用業界標準的Linear scan,並融入最新技術 ISO scan與高效率晶片傳輸系統,藉由提供先進高電流與極低能高電流,可精確控制角度並提升產能,與 iPulsar Plus 可技術銜接。

iBlazar 擁有最大晶圓傾斜角度植入能力,此為市場領先技術,同時具備卓越的粒子缺陷控制與高真空性能。在領先技術與高生產效益的引領下,iBlazar實現了高電流離子植入機的極致表現。

iPulsar Plus

與國際大廠並駕齊驅

iPulsar Plus 為漢辰科技開發製造的單片式高電流離子植入機,將數十年累積的成熟離子束技術工藝成功應用於半導體成熟製程及3奈米先進製程中,為國內外各大晶圓廠重要的量產設備。

藉由極佳能量汙染控制的離子減速系統、點和線的電子束控制掃瞄系統,以及高標準的粒子缺陷表現離子植入系統,提升客戶產品品質。 此外,藉由豐富的製程經驗,無論在製程轉換或產能擴張上,均帶給客戶極佳的成本效益與競爭力。

iSTAR

漢辰的第一代原型機台

漢辰科技的第一代原型機,多片式的離子植入系統,以高效率電漿源,利用高電壓再經過高電流,將所需的離子源萃取出植入到晶片上,改變晶片表面的電性,為先進半導體製程中不可缺少的設備。